TM-320多用途精密测量显微镜
一、仪器用途
TM-320多用途精密测量显微镜可用于半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、精密机械加工、橡塑材料等领域的精密测量，也可作为金相显微镜用于金相材料观察和分析。仪器自带偏光装置兼具偏光显微镜功能，适合于工厂、研究所、大专院校等用于产品检测、观察和分析。TM-320测量显微镜符合人机工程学要求的设计，使您在工作中感到舒适和放松。
二、TM-320测量显微镜规格
（一）测量范围： X: 300mm; Y: 200mm
（二）数显分辨率： 0.0005mm
（三）工作台尺寸： 500×350mm(玻璃台面尺寸：356×262mm)
（四）仪器测量准确度：≤（3+L/75）um （L为被测长度）
（五）仪器的质量： 100kg
（六）仪器外形尺寸： 560×820×670mm
（七）输入电压： AC220/50Hz ±10%
（八）光学基本参数
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物镜
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目镜
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总放大倍数
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工作距离(mm)
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视场直径(mm)
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放大倍数
数值孔径
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分辨
率(μm)
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放大
倍数
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视场(mm)
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5×/0.15
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2.24
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10×
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25
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50×
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44
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5
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10×/0.3
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1.12
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100×
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34
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2.5
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20×/0.35
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0.96
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10×
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20(带0.1mm
十字分划板)
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200×
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30
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1.25
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50×/0.5
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0.67
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500×
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17
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0.5
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1、光学系统：无限远光学系统，镜筒透镜f=200mm
2、观察镜筒：正像，人性化三目，观察角度0°～45°可调
3、物镜：95mm平场无限远长工作距离复消色差物镜M Plan Apo
4、物镜转换器：大四孔物镜转换器
5、偏光装置：检偏镜可360°转动。起偏镜、检偏镜均可移出光路
（九）照明光源
1.反射照明： 柯勒照明（带孔径光栏和视场光栏）
卤素灯12V50W，光强度连续可调
2.透射照明： 远心照明，卤素灯12V50W，光强度连续可调
3.斜射照明： 12V，50W （双卤钨灯、光强度连续可调）（选购件）
（十）CCD接口
采用标准C接口、可连接CCD和数码相机进行影像测量。